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關于冷凝泵的基本使用介紹

發布時間:2021-11-10 點擊量:593

  冷凝泵是使用低溫外表冷凝氣體的真空泵,又稱冷凝泵。冷凝泵是獲得清潔真空的極限壓力低、抽氣速率大的真空泵,廣泛應用于半導體和集成電路的研究和出產,以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空外表分析儀器、離子注入機和空間模擬設備等方面。


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  因其潔凈無污染、效率高、抽速大、高可靠性等杰出優勢,被廣泛的應用于科學研究實驗室、乃至工業出產等眾多領域,如半導體材料制造、平板顯示器出產/測試設備、太陽能制造業、真空鍍膜、熱真空體系等。


  冷凝泵適用介質:清水 冷凝泵適用介質溫度:0℃ 至 120℃ 冷凝泵使用規模100N130和150N110型可運送120℃以內的液體,但其他泵運送液溫不能超過80℃。冷凝泵為臥式懸臂單級、兩級離心泵,共分8個種類。


  支承部分主要件有托架、前后鈾承壓蓋和鈾組合定位在托架上的前后徑向滾珠鈾承上,滾球鈾承亦承受未被平衡的鈾向力。用稀油潤滑,油量可從油標看出。前后鈾承壓蓋均裝有毛氈密封圈做為鈾封以防漏油。管堵處的孔用來灌油。清洗換油時從絲孔將油放出。


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